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①微細性：可對工件進行0.01～0.1μm切削。 　　②隨機性：工件與研具隨機接觸,高點相互修整，誤差逐步減小，精度同時得到提高。 　　③針對性：可檢測工件，有針對性變動研磨位置和掌握研磨時間，保證尺寸和形狀精度。